等離子體光譜儀由激發源(X射線管)和探測系統構成。X射線管產生入射X射線(一次X射線)，激發被測樣品。受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。

　　等離子體光譜儀根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。近年來，在各行業應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用得醉多也醉廣泛。大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點。

　　獲取方法是檢測器探測透過樣品后帶有信息的干涉光，經過信號處理后獲取譜圖。干涉光的產生是通過光源發射出的入射到光束分裂器(類似半反半透鏡)上，將分成兩束光分別到定鏡與動鏡上。由于動鏡是在一定距離范圍內勻速運動的，因此兩束光形成光程差，在返回分束器的時產生干涉。

　　等離子體光譜儀由燈源、光闌、干涉儀、樣品室、檢測器以及各種反射鏡、數據處理系統等組成，樣品室的體積應盡量大。應能安裝各種小的附件，如各種衰減全反射(ATR)附件、漫反射附件、鏡反射附件等。現等離子體光譜儀普遍能夠將多種附件制作成智能附件，安裝后可通過軟體智能識別安裝的是哪種附件。