電感耦合等離子體光譜儀具有環形結構、溫度高、電子密度高、惰性氣氛等特點，用它做激發光源具有檢出限低、線性范圍廣、電離和化學干擾少、準確度和精密度高等分析性能。ICP是用于原子發射光譜的主要光源。  

電感耦合等離子體光譜儀的原理：  

    高頻振蕩器產生高頻電流，經耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。  

    石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。  

    工作氣體(Ar)則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發生電離，被電離的氣體經過環繞石英管頂部的高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態的氖原子發生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導致氣體*電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區面，此處溫度高達6000一10000攝氏。  

    樣品經處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發態的原子、離子狀態。當這些激發態的粒子回收到穩定的基態時要放出一定的能量(表現為一定波長的光譜)，測定每種元素*的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。  

    電感耦合等離子體光譜儀還可以作為原子化器，如以空心陰極燈為光源，電感耦合等離子體光譜儀為原子化器的原子熒光光譜儀。這類儀器不采用單色器，以電感耦合等離子體光譜儀為中心，在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元)，形成了多元素分析系統。電感耦合等離子體光譜儀作為原子化器大的優點在于原子化器具有很高的溫度，多種元素都可得到很好地原子化，散射問題也得到克服，由計算機控制，燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電，所產生的熒光由相應的光電倍增管檢測，光電轉換后的電信號在放大后由計算機處理，并報出各元素的分析結果。  

    據說，以電感耦合等離子體光譜儀為原子化器的原子熒光光譜儀對難熔元素的測定靈敏度不高。