為了保證ICP儀的安全運行，供電線路必須要有足夠大的容量，否則電感耦合等離子體發射光譜儀運行時線路的電壓降過大，影響儀器壽命。作為一臺精密測量儀器，它還需要有相對穩定的電源，供電電壓的變化一般不超過+百分之5，如超過這個范圍，需要使用自動調壓器或磁飽和穩壓器，不能使用電子穩壓器，由于電子穩壓器在電壓高時產生削波，造成電脈沖，影響電子計算機、微處理器及相敏放大器的工作，引起誤動作。連續正弦波電源才能保證這些電子電路的正常工作，電感耦合等離子體發射光譜儀供電線路單獨從供電變壓器的配電盤上得到，盡量不與大電機，大的通風機，空調機，馬弗爐等大的用電設備共用一條供電線路，以免在這些用電設備起動時，供電線路的電壓大幅度的波動，造成儀器工作不穩定。允許電流大于30安培的儀器要單獨接地。一般光譜儀地線電阻要小于5歐姆，計算機地線電阻要小于0.25歐姆(ASTM)標準，以防相互干擾。  

    在電感耦合等離子體發射光譜儀的使用中，應經常注意電源的變化，不能長期在過壓或欠壓下工作，根據資料介紹，當儀器在過壓下工作會造成高頗發生器功率大管燈絲過度的蒸發和老化，電子管的壽命將會大大的縮短(是正常壽命的五分之～一六分之一)。如果在欠壓下工作，電子管燈絲溫度過低，電子發射不好，也容易造成電子發射材料過早老化，同樣也縮短電子管的壽命；電感耦合等離子體發射光譜儀運行中供電電壓的較大波動同樣也會造成高頻發生器輸出功率的不穩定，對測定結果的好壞影響極大，因此，應當注意供電電源的質量。